传统的Particle监测方法，是将采样探头安装在无尘室和设备内部固定的位置，检测附近区域的空气中Particle含量，通过数据图表、发送邮件的方式通知品质管控者无尘室的洁净度是否达标。但是无尘室空间的洁净等级高并不代表制程设备内部是洁净的，也不能代表Glass在传送时表面就不被Particle污染。
一.传统测量方式：
二、专门设计的Wafer形状particle的Sensor.
1,WaferSense APS跟随Glass一起在制程设备流转。
2.利用无线蓝牙，将Particle数据实时传递和存储到电脑软体。
3.结合AOI设备，在传输过程中就能及时发现Particle异常点。
4.技术人员可对整个机台的运动轨迹进行标注，便于分析和查找不良。
2.1 CYBER APS 参数
2.2 Cyber人机交互界面
3.APS 的作用
1.可以提供实时动态测试，结合工艺流程进行检测
2.可以深入机台内部检测
3.可以发现生产过程中细微的变化
4.提高工作效率,节省机台的调整时间，提高PM&TPM效率
结合上述优势，终可以帮助：
提高良率!!!!!!
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