在半导体制程使用的高端离子化除静电设备

      整个半导体制造过程中产生的静电荷，主要是由不同材料的接触和分离引起的。静电荷以三种方式影响生产良率和产量：静电荷以静电吸附（ESA）从空气中吸引微粒，导致的晶圆和光罩的产出不良。静...

PFK TC -WAFER简介

 一 概述：   TC为热电偶（Thermocouple）的简称，TC Wafer則是直接鑲嵌于晶圆表面的温度传感器，可以实现晶圆表面温度实时量测。   借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器，可获得这些特定...

WaferSense® APS——创新的无线Particle量测技术

      Particle是影响面板行业制造良率的关键因素之一，良率的高低主要取决于工艺、制造设备和管控。人为的疏忽、机器的失常和错误的调整都会影响。使用APS sensor能够省略检测时间，帮助您...