及时监控，侦测制程设备内或传送设备环境中的气体微颗粒。轻松判别微颗粒产生的位置及时间点，及了解微颗粒的清除成效和设备维修结果。
。利用蓝牙及时的将监测结果传输到电脑上
。方便的操作软件
。可通过设备的自动传输装置将sense传送到设备内部使用
。简化流程节约时间成本
| APS2 | |
|---|---|
| 气流 | 0.1 CFM（2.8/m） 1 atm |
| 通道大小 |
0.1微米 和 0.5微米 |
| 操作压力 |
0.4到1.6 atm |
| 操作内部温度 |
15°C ~ 45°C 不结露 |
| 电池操作 |
充电时间大于1小时 |
| 产品组件 |
粒子感测晶片 现场清洗装置 通信链路模块 对一台计算机的软件许可证 携带手提箱 †/ ISO 21501 - 4:2007(E) |
• 应用于晶圆制造，显示面板制造等 电子工厂内。
• 制程设备内或传送设备环境中的气体微颗粒监测，判别微颗粒产生的位置及时间点，及了解微颗粒的清除成效和设备维修结果。
