硅片盒包装袋

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硅片盒包装袋

可包覆不同形式的包装盒和载具（比如Cassette，FOSP， FOUP），为半导体硅片在工厂内部或者工厂之间运输时提供保护。内外双层袋子包装，可避免颗粒，水气，AMC等侵入对硅片造成污染。卫利公司的包装袋选用高端高分子复合的耐磨材料材，减少Particle生成，并且具有低释气特性，抑制释出气体污染晶圆；同时借由特殊工业制袋，以提供绝佳的气密性，防止水气渗透，可将载具内部维持在低湿度的洁净环境。

Datasheet.pdf

○ 材料袋子分为内袋（GB9000系列）和外袋（GB6000系列）。内袋是透明的尼龙和聚乙烯

○ 高分子复合的材料做成。而外袋是不透明的尼龙，铝箔和聚乙烯高分子复合的材料做成。他们的尺寸和袋型如下表。

○ 高分子复合的材料做成。而外袋是不透明的尼龙，铝箔和聚乙烯高分子复合的材料做成。他们的尺寸和袋型如下表。

序号	项目	GB6000 系列	GB9000 系列
1	功能	外袋，抽真空	内袋，抽真空
2	厚度	0.12 mm	0.1 mm
3	表面电阻	1E6 - 1E10 ohms	无防静电 *
4	EMI屏蔽功能	< 5 nj	N/A
5	材料结构，外观	PET/Foil/PA/PE，不透明	PA/PE，透明
6	抗拉强度	70 +/-5 MPa	45 +/- 5%
7	断裂伸长率	80 +/- 5%	90 +/- 5%
8	氧气渗透率	小于0.005 cm3/m2·d·atm	N/A
9	水气渗透率	小于0.005g/m2·24h	N/A
10	其他	使用洁净，无晶点PE	使用洁净，无晶点PE

◇ 为了确保包装盒和袋子有完整的密封性，除了袋子材质，封边的牢固之外，使用适合的封口机也需要有正确的操作，避免在抽真空的地方有漏气发生。建议的操作温度和压力如下:

◇ 可以配合干燥剂和湿度指示卡使用：

①UltraTape晶圆封装胶带零残留，双层或三层包装确保使用时洁净多种颜色，便于批次区分。

②Humitector 湿度指示卡在指定包装环境内提供相对湿度水平的可视证据。如果指示卡指示较高的湿度水平，则用户知道更换其干燥剂袋并检查其产品是否受损。