悬挂型离子风机，设计配合关键环环境的要求，取得ISO14644-1Class4洁净房内使用的认证。采用专用的稳态直流电离技术，能消除ESD和所引起的电磁干扰，是先进制程生产设施内，提供佳静电防护的设备。它们也可选配外接Novx系统作控制反馈，随环境调整离子输出，以达至和维持少于±IV的高精准的离子平衡。
○ ISO14644-1 Class|或更好的洁净度
○ 调制脉冲技术
○ 卓越的横向均匀度
○ 对接Novx系统/感应天线能反馈控制达至+5V
○ 吹气辅助功能
○ 软件有易用的界面和宽阔的可调性警报输出信号
○ 可兼容包括10nm和以下的所有晶圆技术
○ 精准的正负平衡和长期稳定高离子输出量整根棒的离子平衡都一致
○ 满足先进制程处理nm级精密元件的要求
○ 在快速的自动设备，能增强消除静电的能力
○ 在任何环境都能快速设定和容易调至佳效能
○ 能输出至设备或远端监控系统
