○ UPW 和化学品监测降低微污染风险
○ 空气分子污染监测延长过滤器寿命 & 避免镜头保修纠纷
○ 气体输送系统分析可避免昂贵的制程污染
○ 零件分析确保更快的正常运行时间 & 缩短设备预备周期
○ 晶圆和沉积膜分析加快开发和资格认证
○ 洁净室和耗材分析加快生产洁净室的资格认证
○ 统一规范化及认证的先进ChemTrace实验室 (AACL™)
• 半导体，光伏和OLED的高精度制造需要超洁净环境。洁净室空气中的微量污染物，例如过程 溢出物，操作员，洁净室消耗品和建筑材料，通常被认为是AMC升高的根本原因，当未被检 测及控制时，它们可能对关键零部件表面产生不利影响，导致设备和半导体工具性能下降。
• 根据SEMI标准F21-1016的AMC分类，AMC区分为分子酸，碱，可冷凝有机物，掺杂剂和金 属，它们可以改变半导体材料的电性能。 ITRS和IRDS技术发展指南提出了该行业的污染水平 要求，但是，随着技术节点从Fab到Fab的不同，对于个体Fab来说，建立过程容差或控制限 制以及监控AMC至关重要。
• 全面的AMC测试产品组合可用于支持洁净室建筑材料，洁净室消耗品，洁净室环境，检测工 具内环境，气体分配系统的资格认证和监控，以及灾后恢复清理后洁净室环境的重新认证。
