• 实时空气侦测仪

    APS


    更薄、更轻、精度更高;
    新一代的APS通过无线方式在线实时监测生产过程的粒子,提高了设备的工作效率和良率;
    快速监控、识别半导体制程设备和自动传送系统内的大于0.14微米的尘埃粒子;
    容易识别什么时候在哪里产生了尘埃粒子;


    • 产品特点及优点
    • 产品规格
    • 产品应用

    ◆ 特点


    ○ 提供150mm、200mm和300mm三种规格;

    包含如下两种软件:

    ○ ParticleView——实时显示数值,累计或差分计数模式,浓度或频率模式;

    ○ ParticleReview:回放日志文件用于查看和分析;

    ○ 测量粒子大于等于0.14微米;

    ○ 尺寸通道: 0.1um 和 0.5um ,还有更大的粒径2um、5um、10um和30um;


    实时空气侦测仪
    外壳材质 碳纤维复合材料
    重量 150mm (124g); 200mm (140g); 300mm (200g) (± 7%)
    流量 0.07CFM (2.0 L/min)@ 1个大气压下
    环境压力 0到1.4个大气压
    适用温度 15 °C 到 45 °C 非凝结
    电池操作时间 充一次电大于1小时,感应式无线充电
    连接 蓝牙,Class 1, 2.4GHz
    操作系统 Windows 7, 8, 10, XP, Vista
    产品组成 APS测量装置,充电清洁箱,携带手提箱,USB通信连接模块与应用软件
    校准 建议每年返厂校准一次

    ◆ 应用



    • 晶圆制造,显示面板制造设备
    • 气体监控
    • 科学研发
    • 应用于各行业洁净室洁净度的检测和监控需要短时间快速检测的场合