Picarro 在线连续AMC分析器 SI2000

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Picarro 在线连续AMC分析器 SI2000

Picarro/ AMC Analyzer SI 2000

痕量气体分析应用包括环境监测、排放物监测、绿色汽车发动机开发、半导体工厂、洁净室技术和生物制药工艺监测。所有这些应用都能通过可立即使用的 Picarro 气体浓度分析仪来实现，该分析仪可提供实时的分析速度、高精度和 ppb 以上的灵敏度。而且，从实用的角度来看，理想的痕量气体分析仪只需要很少甚至不需要样品制备或稀释，坚固、紧凑，运行成本低。具体而言，后者意味着不需要训练有素的技术人员，并且在理想的情况下可实现远程无人操作。
CRDS 是第一种能够满足所有这些需求的痕量气体浓度仪器分析方法，它甚至可以为环境和生物医学应用提供同位素比率结果。同样重要的是，相同的 Picarro CRDS 分析仪可用作无人远程监测器、工业过程传感器和参比实验室仪器，极大地简化了标准方法和实验方案的转移。这些仪器的漂移非常低，意味着它们可以在大多数应用中运行数月而无需重新校准。

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产品特点及优点
产品规格
产品应用

◆ 特点

○ 卓越的灵敏度、精度和准确性，几乎没有漂移

○ 快速、连续、实时测量，无干扰

○ 动态范围大，线性度高

○ 现场、实验室可配置，无耗材

○ 安装和操作只需几分钟

○ 坚固耐用，对环境温度、压力或振动变化不敏感

○ 1年质保

◆ 优点

○ 相应时间非常短，短至数秒

○ 测试准确分辨率高，LDL可下探至PPT等级

○ 可长时间稳定运行，且无需校准

○ 建议预防性维护周期：6或12个月

○ 预防性维护费用非常低

分析器性能参数	SI2104	SI2108		SI2306
分析器性能参数	H2S 硫化氢	HCI 盐酸	H2O 水汽	HF氢氟酸 (SI2205 for HF only)	NH3 氨气 (SI2103 for NH3 only)
精度	≤1.5 ppb (10 sec), ≤0.5 ppb (100 sec)	≤45 ppt (10 sec), ≤15 ppt (100 sec)	20 ppm + (8 x %H2O) (10 sec) 10 ppm + (4 x %H2O) (100 sec)	≤30 ppt (10 sec), ≤10 ppt (100 sec)	≤300 ppt (10 sec), ≤100 ppt (100 sec)
侦测下限 (100 sec., 3σ)	1 ppb	45 ppt	30 ppm	30 ppt	300 ppt
方法检测极限 (per Semi C10-1109)	3 ppb	250 ppt	40 ppm	500 ppt	500 ppt
线性 (per IEC 61207)	±1%	±1%	±1%	±1%	±1%
跨度精度	±5% @ full scale	±5% @ full scale	±5% @ full scale	±5% @ full scale	±5% @ full scale
零点精度	±2 ppb	±50 ppt	±40 ppm	±25 ppt	±100 ppt
设备各部件一致性	±5% @ full scale ±2 ppb @ zero	±5% @ full scale ±50 ppt @ zero	±5% @ full scale ±40 ppm @ zero	±5% @ full scale ±25 ppt @ zero	±5% @ full scale ±100 ppt @ zero
测试量程	0–10 ppm	0–2 ppm	0–40000 ppm	0–1 ppm	0–10 ppm
测量间隔	<4 seconds	<3 seconds		<4 seconds
采样量	~0.4 slm	~2 slm		~2 slm
响应时间 (T90/10 + T10/90) @ 20 ppb	<20 sec (100 ppb challenge)	<3 min	<20 sec (10,000 ppm challenge)	<3 min
下降时间 T90/10 @ 20 ppb	<10 sec (100 ppb challenge)	<1 min	<10 sec (10,000 ppm challenge)	<1 min

SI2000 系列系统参数
测量技术	Cavity Ring-Down Spectroscopy 光强衰荡技术
校准周期（建议）	不需要校准- 6个月时进行首次验证，之后每12个月进行一次
执行验证所需的时间	根据制造商的告知，预估时间少于15分钟
测量单元温度控制	±0.005°C
测量单元压力控制	±0.0002 atm
工作环境温度	15 to 35°C (operating); -10 to 50°C (storage)
工作环境湿度	<99% RH non-condensing
配件	泵（外置泵），键盘，鼠标，LCD显示屏（选配），保养工具套装（选配）
通信接口	RS-232, Ethernet, USB, analog 0–10 V, Modbus, 4-20mA(optional)
连接件	1⁄4” Swagelok® PFA Fittings
尺寸	Analyzer: 17” w × 8.38” h x 24.4” d (43.2 × 21.3 × 62 cm)
重量	73 lbs. (33.18 kg) including external pump
供电	100–240 VAC, 47–63 Hz (自动判断), <400 W (整体): 250 W (分析器), 150 W (pump) 稳定状态
保修期	12个月
认证	CE Mark
生产国	USA

◆ 应用

• 晶圆制造（先进制程）
• 设备内
• FOUP内
• OEM设备商