○ 卓越的灵敏度、精度和准确性，几乎没有漂移
○ 快速、连续、实时测量，无干扰
○ 动态范围大，线性度高
○ 现场、实验室可配置，无耗材
○ 安装和操作只需几分钟
○ 坚固耐用，对环境温度、压力或振动变化不敏感
○ 1年质保
○ 相应时间非常短，短至数秒
○ 测试准确分辨率高，LDL可下探至PPT等级
○ 可长时间稳定运行，且无需校准
○ 建议预防性维护周期：6或12个月
○ 预防性维护费用非常低
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分析器 |
SI 3401 |
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H2O |
HCI |
HF 氢氟酸 |
NH3 氨气 |
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精度 |
20 ppm + (8 x %H2O) (10 sec) 10 ppm + (4 x %H2O) (100 sec) |
≤75 ppt (10 sec), ≤25 ppt (100 sec) |
≤40 ppt (10 sec), ≤15 ppt (100 sec) |
≤300 ppt (10 sec), ≤100 ppt (100 sec) |
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LDL (100 sec., 3σ) 小检测限 |
30ppm |
75 ppt |
40 ppt |
300 ppt |
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MDL (per Semi C10-1109) 方法检测限 |
40ppm |
250 ppt |
500 ppt |
500 ppt |
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线性(per IEC 61207) |
±1% |
±1% |
±1% |
±1% |
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跨量程测试精度 |
±5% @ full scale |
±5% @ full scale |
±5% @ full scale |
±5% @ full scale |
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零点漂移 |
±40 ppt |
±50 ppt |
±25 ppt |
±150 ppt |
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设备一致性 |
±5% @ full
scale |
±5% @ full
scale |
±5% @ full scale ±25 ppt @ zero |
±5% @ full
scale |
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测量量程 |
0–40000 ppm |
0-2 ppm |
0 – 1 ppm |
0 – 10 ppm |
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测量间隔* |
<9 seconds |
<5 seconds |
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采样量 |
~2 slm |
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响应时间 (T90/10 + T10/90) @ 20 ppb |
<20 sec (100 ppb challenge) |
<3 min |
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下降时间 T90/10 @ 20 ppb |
<10 sec (100 ppb challenge) |
<1 min |
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SI2000 系列系统参数 |
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测量技术 |
Cavity Ring-Down Spectroscopy 光强衰荡技术（CRDS） |
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校准/验证周期（建议） |
不需要校准- 首6个月时进行首次验证，之后每12个月进行一次 |
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测量单元温度控制 |
±0.005°C |
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测量单元压力控制 |
±0.0002 atm |
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工作环境温度 |
15 to 35°C （操作环境）； -10 to 50°C（存储环境） |
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工作环境湿度 |
相对湿度<85% 非凝结 |
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配件 |
泵（标配，外置泵），键盘和鼠标（标配），LCD显示屏（选配） |
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通信接口 |
RS-232, Ethernet, USB |
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连接件 |
1⁄4” Swagelok® PFA Fittings |
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尺寸 |
SI3401分析器：16.7” w × 8.4” h x 24.8” d (43 × 21.3 × 63 cm) |
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重量 |
78 lbs. (35.4 kg) 包含外置泵重量 |
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供电 |
100–240 VAC, 47–63 Hz （自动判断，外置泵不含此功能） <260 W 初始开机（整体）：110 W （分析器），120 W （外置泵）稳定运行状态 |
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保修期 |
12个月 |
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认证 |
CE Mark |
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生产国 |
USA |
