• KFMT 在线/离线连续纳米级液体颗粒收集器 NSL 9410

    KFMT/ Nano Spotlight System Model 9410


    NSL高效采集系统是Kanomax FMT公司在不断的科技发展和技术创新中针对市场需求推出的新产品。
    尽管半导体行业对于纳米颗粒物计数技术的应用已有数十年历史,但对这些粒子的化学元素成分的解析却一直是行业内普遍存在的难题。在半导体制程中,对于任何影响半导体良率的“颗粒事故”,了解污染颗粒物的组成对确定事故来源和消除问题都至关重要。在将扫描电子显微镜(SEM)分析用于此类颗粒物结构和成分解析时,传统的采样方式是将这些颗粒收集在一个直径25毫米的过滤器中,为了达到足够的分析浓度,其采样时间往往相当冗长(通常是几周),使其结果的时效性大打折扣。但在这样的情况下,提高处理和分析问题的速度恰恰正是小化停产影响的关键。而NSL系统因其卓越的纳米颗粒物收集效率及无交叉污染的收集方式可将采样时间大幅缩减至24小时以内,从而有效提高颗粒物成分分析的准确度及时间解析度,为SEM分析需求提供更好的采样支持。

    • 产品特点及优点
    • 产品规格
    • 产品应用

    ◆ 特点


    ○ 收集效率高,交叉污染极低

    ○ 自动化的抽样程序

    ○ 为SEM装备样品(无需额外准备工序)

    ○ 1年质保


    ◆ 优点


    ○ 可以集中一点有效收集UPW中的纳米颗粒

    ○ 可以收集5纳米及以上尺寸的颗粒物

    ○ 可以提取和收集细菌、有机物、硅溶胶、树脂

    ○ 可以收集5纳米及以上尺寸的颗粒物

    ○ 收集的颗粒集中在一个小于1mm的收集点上

    ○ 收集时间可以压缩到几个小时

    超纯水(UPW)中纳米颗粒物的浓缩式高效收集

        ○ 可高效率收集所有大于5纳米的颗粒物

        ○ 微生物,有机物,硅胶,甚至树脂颗粒物均可采集

        ○ 浓缩式收集法将所有颗粒物集中收集在小于1毫米直径范围内

        ○ 分析结果时效性由星期尺度大幅提高至小时尺度


    KFMT 在线/离线连续纳米级液体颗粒收集器 NSL 9410
    颗粒粒径尺寸 5 nm -2.5 μm
    收集效率 >95%
    气溶胶浓度 Up to 104 颗颗粒物/cm3
    工作流体-冷凝液 蒸馏或超纯水
    增长管材质 DVPP00010 Durapore Membrane Filter (Millipore) formed into a 30 cm long (6.35 mm OD × 4.8 mm ID) roll
    进样/采样流量 1.0 L/min
    待测气溶胶样品条件 非腐蚀性, 0 – 40°C
    SEM样品台载盘 PEEK polymer材质并配有不锈钢304加热底座。其自带适合SEM载台的5个衬孔(配有载片初始化设置),。其他材料和配置亦可客制化。
    SEM样品台尺寸 标准钉形样品台,样品台面很大直径25.4mm,定位钉很大直径3.2mm,定位钉长9mm。
    样品台的收集顺序及时间 各位置样品台的采样时间可分别自定义,每个样品台收集时间可设置少1分钟/片,很大24小时/片
    样品台采集点 约为样品台中心0.5mm直径范围内
    通讯方式 USB communications output for sampling parameters and instrument status
    操作环境 15 – 30°C, 10 – 95% RH
    采样进口 6 mm OD SS tube
    电源 Universal 100 - 230 VAC 50/60 Hz, 140 W max
    尺寸(W × D × H) 305 mm (12 in.) × 255 mm (10 in.) × 500 mm (19.5 in.)
    操作环境湿度 0-90% RH 非凝结状态
    重量 Growth Tube Unit: 6.8 kg (15 lb), Sequential SEM Collector module: 1.1 kg (2.5 lb)

    ◆ 应用



    • UPW系统污染物示踪
    • 过滤器工况测试
    • 组件污染分析
        • 过滤器(MF和UF)脱落物测试
        • 离子交换树脂的释放物
        • 机械部件(阀门、调节阀、油管等)
        • 膜接触器
    • 颗粒物量测信号与系统中待测颗粒物的相关性测试